电子束操作及注意事项
①电子枪工作前必须检查水流是否正常,工作过程中务必保证水压、水流量指示,电子束镀膜机销售,否则将造成坩埚损坏。?
②电子枪起动真空度6.7×10-3Pa。?
③蒸发前电子枪的阴极灯丝应预热,预热电流为0.6A,预热时间新阴极5分钟以上(应缓慢调至0.6A,以防阴极变形),旧阴极2分钟即可。?
④蒸发前对材料先预热除气。?
⑤蒸发完后,按下列顺序关闭高压电源:关蒸发档板→关闭高压→灯丝电源调至预热0.6A的位置→关闭束流调节电源并调至低位置→关闭磁场电源,工作时操作顺序与此顺序相反。?
⑥电子枪灯丝停止加热后,要停留10分钟以上才能向蒸发室放气
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电子束蒸发镀膜机的系统装置介绍
1、系统自动监控和保护功能强,DZS500型电子束镀膜机销售,包括断水报警、相序检测与保护、温度检测与保护、真空系统检测与保护等。
2、分子筛吸附装置,避免机械泵返油造成膜层污染,提高薄膜纯净度。
3、膜厚监测及控制系统,可在线监测及控制膜层厚度,膜厚仪与基片挡板联动,形成闭环控制。采用晶振膜厚仪
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电子束蒸发镀膜机产品介绍
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产品配置:
★样片数量及尺寸: 1片Φ8英寸或5片Φ4英寸或伞形工件架(用户定制)
★蒸发材料:金属;非金属;化合物等薄膜材料。
★蒸发腔体:高真空系统。
★蒸发不均匀性:≤±3%-±5%
★工件架:可旋转,转速可调
★加热:常规加热
★电子枪:E型,双枪电子束镀膜机销售,带XY偏转扫描
★电子枪坩埚:6穴,17cc
★膜厚监控功能:石英晶控膜厚在线监测与终点控制
★清洗功能:可选配离子源清洗
★器件一次成型复合实验系统:通过复合mask系统与样品对准系统,一次完成器件的多个工艺步骤
★检测与控制光学特性的功能:可选配光控仪
★操作模式:全自动+半自动控制