靶材的类别有哪些?
溅射靶材的种类较多,即使相同材质的溅射靶材也有不同的规格。按照不同的分类方法,能够将溅射靶材分为不同的类别,主要分类情况如下:
按形状分类:长靶、方靶、圆靶按化学成份分类:金属靶材(**属铝、钛、铜、钽等)、合金靶材(镍铬合金、镍钴合金等)、陶瓷化合物靶材(氧化物、硅化物、碳化物、硫化物等)
按应用领域分类:半导体芯片靶材、平面显示器靶材、太阳能电池靶材、信息存储靶材、I具改性靶材、电子器件靶材、其他靶材。
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靶材的应用领域
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1 :微电子领域
2 :平面显示器用靶材
3 :存储技术用靶材
溅射靶材主要应用于电子及信息产业,LF50水冷电极,如集成电路、信息存储、液晶显示屏、激光存储器、电子控制器件等;亦可应用于玻璃镀膜领域还可以应用于耐磨材料、高温耐蚀等行业。
靶材镀膜工艺介绍
用于建筑玻璃的镀膜玻璃-般都镀薄膜。 我们把厚度低于1um的膜层叫薄膜,厚度**1um的膜叫厚膜镀膜工艺是用不同的材料在基片表面形成新表面的方法。镀膜的方法很多,真空蒸发、真空溅射、化学还原、溶胶凝胶法等。它要求膜层要有非常强的附着力,附着力不强的叫覆盖。要获得强附着力,就必须将玻璃表面清洁干净。
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