等离子化学气相沉积定做-等离子化学气相沉积-沈阳鹏程真空技术

ICP刻蚀机的应用

沈阳鹏程真空技术有限责任公司——专业生产、销售ICP刻蚀机，我们公司坚持用户为上帝，想用户之所想，急用户之所急，等离子化学气相沉积，以诚为本，讲求信誉，以产品求发展，以质量求生存，我们热诚地欢迎各位同仁合作共创辉煌。

等离子体处理可应用于所有的基材，甚至复杂的几何构形都可以进行等离子体活化、等离子体清洗，等离子体镀膜也毫无问题。等离子体处理时的热负荷及机械负荷都很低，等离子化学气相沉积供应，因此，低压等离子体也能处理敏感性材料。等离子刻蚀机的典型应用包括：

等离子体清除浮渣

光阻材料剥离

表面处理

各向异性和各向同性失效分析应用等离子刻蚀反应材料改性

包装清洗

钝化层蚀刻

聚亚酰胺蚀刻

增强粘接力

生物医学应用

聚合反应

混合物清洗

预结合清洗

化学气相沉积的分类

化学气相沉积的方法很多，如常压化学气相沉积(Atmospheric pressure CVD，APCVD)、低压化学气相沉积(Low pressure CVD，LPCVD)、**高真空化学气相沉积(Ultrahigh vacuum CVD，UHVCVD)、激光化学气相沉积(Laser CVD，等离子化学气相沉积价格，LCVD)、金属**物化学气相沉积(Metal-organic CVD，MOCVD)，等离子体增强化学气相沉积（Plasma enhanced CVD，PECVD）等。

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ICP刻蚀机的操作及判断

1. 确认万用表工作正常，量程置于200mV。

2.冷探针连接电压表的正电极，热探针与电压表的负极相连。

3.用冷、热探针接触硅片一个边沿不相连的两个点，电压表显示这两点间的电压为正值，说明导电类型为P 型，刻蚀合格。相同的方法检测另外三个边沿的导电类型是否为P型。

4.如果经过检验，等离子化学气相沉积定做，任何一个边沿没有刻蚀合格，则这一批硅片需要重新装片，进行刻蚀。

沈阳鹏程真空技术有限责任公司以诚信为首 ，服务至上为宗旨。公司生产、销售ICP刻蚀机，公司拥有强大的销售团队和经营理念。想要了解更多信息，赶快拨打图片上的热线电话！