300C**无机联合蒸发
主要用途:
用于制备导电薄膜,半导体薄膜,铁电薄膜,光学薄膜等。
系统组成:
该蒸镀设计系统主要由真空抽气及真空测量系统、真空室系统、工件架系统、蒸发源系统、膜厚测试系统、蒸发舟挡板系统、 烘烤照明系统、水冷却循环及报警系统、电控及控制系统、辅助系统等设计。
技术指标:
极限真空度:≤6.7×10 Pa
恢复真空时间:从1×10 Pa抽至5×10 Pa≤20min
系统漏率:6. 7×10-7Pa.L/S;
真空室:Ф400 x400mm圆筒型真空室 ,
蒸发源:1-4个,采用电阻蒸发舟、蒸发蓝、绞丝、束源炉至下向上蒸发镀膜。
蒸发温度:加热温度:室温~1800℃;
蒸发舟在距中心100~160mm的圆周上;蒸发舟可上下升降,调节幅度0~150mm(样品中心与坩埚距离150~300mm); 工作架类型及尺寸:样品托盘直径Φ300mm,其上可放多个直径20mm的小样品;样品托盘具有自转功能,转速在0~20 转/分 钟,转速可调;样品托盘可摆角,角度在0~30度可调;
烘烤温度:400℃数显自动热偶控温(高温炉盘,**无机联合蒸发镀膜机公司,数显自动热偶控温可加热到700℃)
电阻蒸发源:电压5V,10V,功率2.5KW,水冷电极1~4对
石英晶振膜厚控制仪:膜厚测量范围0-999999?
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派瑞林镀膜加工的优势
派瑞林它能涂敷到各种形状的表面,包括尖锐的棱边,号称'无孔不入'可深入裂缝里和内表面,**无机联合蒸发镀膜机批发,被业内称为当今世界**的防潮、防霉(零级)、防腐、防盐雾的特殊防护涂层。派瑞林涂层材料与派瑞林镀膜加工优势就是能够保护橡胶/硅树脂产品免受油、污垢和污染物的影响,提高润滑性。
派瑞林涂层材料,厚度均匀的透明绝缘涂层,给元件提供一个完整的优质防护涂层,抵御酸碱、盐雾、霉菌及各种腐蚀性气件的侵害。而派瑞林镀膜加工,使物件外表镀制金属膜层,**无机联合蒸发镀膜机,将**资料和无机资料结合起来,提高了它的物理性能以及改变产品外观。
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钙钛矿镀膜设备
以下内容由沈阳鹏程真空技术有限责任公司为您提供,今天我们来分享电阻热蒸发镀膜产品的相关内容,希望对**业的朋友有所帮助!
设备用途 :
适用于制备金属单质薄膜、半导体薄膜、氧化物薄膜、**薄膜等,可用于科研单位进行新材料、新工艺薄膜研究工作,也可用于大批量生产前的试验工作。广泛应用于**、无机、钙钛矿薄膜太阳能电池、OLED等研究领域
设备组成:该设备主要由沉积室、真空排气系统、真空测量、蒸发源、样品加热、电控系统、等部分组成。
1、镀膜室:方形前后开门结构,内带有防污板。
2、真空度:镀膜室的极限真空≤5×10-5Pa;
3、蒸发源系统:**源蒸发源4个,无机蒸发源2套
4、样品架系统:样品大小为Φ150mm的样品,旋转速度为:0~30转/分;
5、样品在镀膜过程中,可烘烤加热,加热温度为:室温~190℃,测温控温。
6、膜厚控制仪:测量范围0-999999?