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靶材镀膜前的清洁

在进行镀膜前都必须将基片进行清洁，对于在线镀膜来说，这是很小的事情，但对离线镀膜来说却相当重要，**高真空观察窗厂家，而且操作起来也比较困难，对于大面积的镀膜来说，将玻璃基片完全清洁干净是不可能的，因此，如何达到镀膜所必须要求的洁净程度就变得非常重要。要保持清洁程度足够高，如果清洁程度不够，膜层容易老化，甚至脱膜等现象。不同用途，不同加工工艺的膜层对清洁程度要求是不一样的，对于目前我司生产的玻璃来说， Low-E玻璃要求的玻璃洁净度不如热反射玻璃高。目前要为镀膜准备大面积的镀膜玻璃基片，主要采用的是一 种湿式清洁技术，这种技术包括三部分:

1.松动玻璃表面的杂质

2.去除已经松动的、分离的杂质

3.干燥已经清洁的玻璃表面

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CF50高温束源炉

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水冷电缆电极性能要求

水冷电缆外护套胶管耐击穿电压V≧2300V。

水冷电缆外护套胶管耐工作水压P≧0.6Mpa。

外护套胶管与电极接口处冷却水无渗漏。

软体导线与电极在**设备上冷挤压紧固。

200mm2标称截面积的试验拉力为15KN，**高真空观察窗，在此基础上，水冷电缆标称截面积每增加100mm2，试验拉力值相应增， 加5KN。

水冷电缆的表面温升（包括连接处）不大于40K。

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