单室三源金属热蒸发镀膜机-沈阳鹏程公司

ZF500**蒸发镀膜机

广泛应用于高校材料、物理、化学、电子、能源等相关学科以及科研院所制备高质量功能薄膜、蒸镀电极等，半导体、**EL、OLED显示研究与开发领域。

系统组成:

主要由真空室、蒸发源、样品台、 真空抽气及测量、膜厚测试 、电控系统组成。

技术指标：

极限真空度4×10-5Pa，系统漏率：1.2×10-7PaL/S； 恢复真空时间：40分钟可达6.0×10 Pa-4

真空室：D形真空室，尺寸350× 400mm

样品台：尺寸为4英寸4平面样品；

**束源炉：数量：4支，标准型600度控温；

样品架：安装加热炉。基片的温度从室温至600℃（硅片上表面的温度，只需标定一次即可）

4套挡板系统：动密封手动控制；

样品挡板（１套），单室三源金属热蒸发镀膜机定做，磁力拨叉，

膜厚控制仪：膜厚测量范围0-999999? 

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蒸发镀膜设备的技术要求介绍

1、镀膜室：镀膜腔室尺寸约为Φ350×450mm，不锈钢材料，圆柱形前开门结构，内带有防污板。

2、抽气系统：采用分子泵+机械泵抽气系统；

2.1、真空度：镀膜室的极限真空≤6×10-4Pa；

2.2、系统漏率≤1×10-7PaL/s。

3、蒸发源系统：**源蒸发源一个，容积5ml，一台蒸发电源，可测温控温，加热温度400℃，功率0.5Kw；

4、样品架系统：样品架可放置大小为Φ100mm的样品，载玻片；旋转速度为：0～30转/分；

5、样品在镀膜过程中，带有烘烤加热功能，单室三源金属热蒸发镀膜机哪家好，烘烤加热温度为：室温～400℃，测温控温。

6、设备带有断水断电连锁保护报警装置、防误操作保护报警装置。

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派瑞林镀膜的作用

医用涂层派瑞林（Parylene），Parylene提供了惰性、生物相容的隔离层，可有效隔离外界的化学品、水分和体液的侵蚀；同时增加了表面的干润滑性，Parylene具有佳的生物相容性，单室三源金属热蒸发镀膜机批发，NC材两者均列入FDA及美国药典（USP）*VI级材料；Parylene在以下医用器件中已获得成功的应用：丁基胶瓶塞，压力传感器，心脏起博器、假肢、骨钉、电路板、各类导管、斯坦特固定膜、超声换能器、骨骼生长促进器、脑部电极、针头、进饲管、人造耳蜗、导尿管及其金属线、腹窥镜器材等．

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