电子束蒸发镀膜设备公司-沈阳鹏程真空技术

电子束蒸发镀膜的优势

电子束蒸发的优点在于：电子束的光斑可以随意调整，可以一枪多用，灯丝可以隐藏，避免污染，可以蒸发任意镀膜材料，维修方便，蒸发速度可以随意控制，双枪电子束蒸发镀膜设备公司，材料分解小，膜密度高。机械强度好。

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电子束蒸发镀膜机是由哪些部分组成的？

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设备组成：

设备由薄膜沉积室、真空获得系统、真空测量系统、电子束蒸发系统、水冷却循环系统、膜厚监测及控制系统、安全保护系统组成。

作用：电子束蒸镀常用来制备Al、CO、Ni、Fe的合金或氧化物膜，SiO2、ZrO2膜，抗腐蚀和耐高温氧化膜。

电子束蒸发镀膜机的用途

电子束蒸发沉积镀膜设备，具有**材料沉积和金属材料沉积成膜功能。它是在高真空条件下，通过加热材料的方法，电子束蒸发镀膜设备公司，在衬底上沉积各种化合物、混合物单层或多层膜，在衬底上沉积各种金属或合金电极并形成器件。可用于镀半导体、金属膜，氧化物、纳米级单层及多层功能膜的连续沉积.

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