化学气相沉积技术的使用
生产晶须:
晶须属于一种以为发育的单晶体,它在符合材料范畴中有着很大的作用,能够用于生产一些新型复合材料。 化学气相沉积法在生产晶须时使用的是金属卤化物的氢还原性质。化学气相沉积法不但能制备出各类金属晶须,同时也能生产出化合物晶须,比如氧化铝、金刚砂、碳化钛晶须等等。
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物理气相沉积和化学气相沉积的区别
化学气相沉积过程中有化学反应,多种材料相互反应,生成新的的材料。
物理气相沉积中没有化学反应,材料只是形态有改变。
物理气相沉积技术工艺过程简单,对环境改善,无污染,耗材少,成膜均匀致密,与基体的结合力强。
化学杂质难以去除。优点可造金属膜、非金属膜,又可按要求制造多成分的合金膜,成膜速度快,膜的绕射性好
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PCVD工艺的具体流程
PCVD工艺的具体流程如下:
(1)沉积。沉积过程借助低压等离子体使流进高纯度石英玻璃沉积管内的气态卤化物和氧气在1000℃以上的高温条件下直接沉积成设计要求的光纤芯中玻璃的组成成分。
(2)熔缩。沿管子方向往返移动的石墨电阻炉对小断旋转的管子加热到大约2200℃,在表面张力的作用下,分阶段将沉积好的石英管熔缩成一根实心棒(预制棒)。
(3)套棒。为获得光纤芯层与包层材料的适当比例,将熔缩后的石英棒套入一根截面积经过精心挑选的管子中,这样装配后即可进行拉丝。
(4)拉丝。套棒被安装在拉丝塔的**部,下端缓缓放入约2100℃的高温炉中,此端熔化后被拉成所需包层直径的光纤(通常为125 cm),并进行双层涂覆和紫外固化。
(5)光纤测试。拉出的光纤要经过各种试,以确定光纤的几何、光学和机械性能。
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