双枪电子束镀膜机销售-电子束镀膜机销售-沈阳鹏程真空技术

电子束操作及注意事项

①电子枪工作前必须检查水流是否正常，工作过程中务必保证水压、水流量指示，电子束镀膜机销售，否则将造成坩埚损坏。?

②电子枪起动真空度6.7×10-3Pa。?

③蒸发前电子枪的阴极灯丝应预热，预热电流为0.6A，预热时间新阴极5分钟以上（应缓慢调至0.6A，以防阴极变形），旧阴极2分钟即可。?

④蒸发前对材料先预热除气。?

⑤蒸发完后，按下列顺序关闭高压电源：关蒸发档板→关闭高压→灯丝电源调至预热0.6A的位置→关闭束流调节电源并调至低位置→关闭磁场电源，工作时操作顺序与此顺序相反。?

⑥电子枪灯丝停止加热后，要停留10分钟以上才能向蒸发室放气

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电子束蒸发镀膜机的系统装置介绍

1、系统自动监控和保护功能强，DZS500型电子束镀膜机销售，包括断水报警、相序检测与保护、温度检测与保护、真空系统检测与保护等。

2、分子筛吸附装置，避免机械泵返油造成膜层污染，提高薄膜纯净度。

3、膜厚监测及控制系统，可在线监测及控制膜层厚度，膜厚仪与基片挡板联动，形成闭环控制。采用晶振膜厚仪

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电子束蒸发镀膜机产品介绍

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产品配置：

★样片数量及尺寸： 1片Φ8英寸或5片Φ4英寸或伞形工件架（用户定制）

★蒸发材料：金属；非金属；化合物等薄膜材料。

★蒸发腔体：高真空系统。

★蒸发不均匀性：≤±3%-±5％

★工件架：可旋转，转速可调

★加热：常规加热

★电子枪：E型，双枪电子束镀膜机销售，带XY偏转扫描

★电子枪坩埚：6穴，17cc

★膜厚监控功能：石英晶控膜厚在线监测与终点控制

★清洗功能：可选配离子源清洗

★器件一次成型复合实验系统：通过复合mask系统与样品对准系统，一次完成器件的多个工艺步骤

★检测与控制光学特性的功能：可选配光控仪

★操作模式：全自动+半自动控制