400A多源蒸发镀膜机厂-多源蒸发镀膜机厂-沈阳鹏程(查看)

ZF500**蒸发镀膜机

广泛应用于高校材料、物理、化学、电子、能源等相关学科以及科研院所制备高质量功能薄膜、蒸镀电极等，半导体、**EL、OLED显示研究与开发领域。

系统组成:

主要由真空室、蒸发源、样品台、 真空抽气及测量、膜厚测试 、电控系统组成。

技术指标：

极限真空度4×10-5Pa，400A多源蒸发镀膜机厂，系统漏率：1.2×10-7PaL/S； 恢复真空时间：40分钟可达6.0×10 Pa-4

真空室：D形真空室，尺寸350× 400mm

样品台：尺寸为4英寸4平面样品；

**束源炉：数量：4支，标准型600度控温；

样品架：安装加热炉。基片的温度从室温至600℃（硅片上表面的温度，只需标定一次即可）

4套挡板系统：动密封手动控制；

样品挡板（１套），磁力拨叉，

膜厚控制仪：膜厚测量范围0-999999? 

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派瑞林镀膜加工的优势

派瑞林它能涂敷到各种形状的表面，包括尖锐的棱边，号称'无孔不入'可深入裂缝里和内表面，oled多源蒸发镀膜机厂，被业内称为当今世界**的防潮、防霉（零级）、防腐、防盐雾的特殊防护涂层。派瑞林涂层材料与派瑞林镀膜加工优势就是能够保护橡胶/硅树脂产品免受油、污垢和污染物的影响，提高润滑性。

派瑞林涂层材料，厚度均匀的透明绝缘涂层，给元件提供一个完整的优质防护涂层，抵御酸碱、盐雾、霉菌及各种腐蚀性气件的侵害。而派瑞林镀膜加工，使物件外表镀制金属膜层，将**资料和无机资料结合起来，提高了它的物理性能以及改变产品外观。

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派瑞林简介

派瑞林是一种新型敷形涂层材料，它是一种聚合物，根据分子结构的不同，Parylene可分为N型、C型、D型、HT型等多种类型。

派瑞林涂层材料优势：派瑞林用*特的真空气相沉积工艺制备，由活性小分子在基材表面“生长”出完全敷形的聚合物薄膜涂层，具有其他涂层难以比拟的性能优势。它能涂敷到各种形状的表面，包括尖锐的棱边，裂缝里和内表面。派瑞林镀膜加工的优势：可以抗酸碱腐蚀，可以抗溶解（在普通的溶剂中不会被溶解）；抗冻性能强（低至200℃）；具有无法比拟的屏障效果（低气体渗透性）；可靠性强，具有较高的绝缘强度；采用Parylene进行涂层，400A多源蒸发镀膜机厂，可得到均匀一致，透明且较薄的膜层；能涂敷到各种形状的表面，包括尖锐的棱边、裂缝；经济清洁、工序简单、速度快、批量处理能力强。

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