水冷铜电极特征
水冷铜电极为感应线圈,该加热电极的两端分别通过进水水冷电缆和出水水冷电缆连接有电源控制开关,包括与进水水冷电缆对接的进水管路,以及与出水水冷电缆对接的出水管路,出水管路中在靠近出水水冷电缆的出水口处连通有缓冲室,在此缓冲室内设有用于向电源控制开关发送控制信号的温度传感器。通过设置缓冲室和温度传感器,能够实时、准确的监测加热电极流出的冷却水的温度,并及时反馈,为熔铜炉的正常工作提供了安全**。
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高温束源炉介绍
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束源炉是一种蒸发镀膜装置是在高真空条件下,通过加热材料的方法,CF50水冷铜电极,使坩埚中被蒸发物在衬底上沉积各种化合物、混合物单层或多层膜,可用于镀半导体、金属膜,氧化物、纳米级单层及多层功能膜的连续沉积。
加热效率高,温度测量控制重复性好,并且可以准确调节。钽灯丝的优化设计确保了加热稳定性,CF50水冷铜电极定做,即使在极限温度下也可以具有很长的使用寿命。
靶材的应用领域
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1 :微电子领域
2 :平面显示器用靶材
3 :存储技术用靶材
溅射靶材主要应用于电子及信息产业,如集成电路、信息存储、液晶显示屏、激光存储器、电子控制器件等;亦可应用于玻璃镀膜领域还可以应用于耐磨材料、高温耐蚀等行业。