电子束蒸发镀膜设备介绍哪些性能?
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真空测量:采用数显复合真空计(两只电阻规测量低真空,一只电离规测量高真空),双枪电子束镀膜机厂家, 测量范围为1×105Pa —1×10-5Pa。
断水报警、相序检测与保护、温度检测与保护、真空系统检测与保护。
电子束镀膜机的特点/用途介绍
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产品特点/用途:
?设备一体化设计,DZS500型电子束镀膜机厂家,占地面积小,性价比高,性能稳定,使用维护成本低;
?适用于实验室制备金属单质膜、半导体膜、**膜,也可用于生产线前期工艺试验等;
?适用于制备光学薄膜、导电薄膜、半导体薄膜、铁电薄膜等。
电子束镀膜与电阻镀膜的区别
电子束蒸镀与利用电阻进行蒸镀的优势在于:可以为待蒸发的物质提供更高的热量,因此蒸镀的速率也更快;电子束定位准确,可以避免坩埚材料的蒸发和污染。但是由于蒸镀过程中需要持续水冷,DZS800型电子束镀膜机厂家,对能量的利用率不高;而且由于高能电子可能带来的二次电子可能使残余的气体分子电离,也有可能带来污染。此外,大多数的化合物薄膜在被高能电子轰击时会发生分解,这影响了薄膜的成分和结构 。
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