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    沈阳鹏程真空技术有限责任公司

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  • 公司认证: 营业执照已认证
  • 企业性质:私营企业
    成立时间:
  • 公司地址: 辽宁省 沈阳 和平区 沈阳市沈河区凌云街35号
  • 姓名: 董顺
  • 认证: 手机未认证 身份证未认证 微信未绑定

    供应分类

    磁控溅射设备厂家-沈阳鹏程真空技术-磁控溅射设备

  • 所属行业:机械 化工设备配件
  • 发布日期:2020-03-19
  • 阅读量:329
  • 价格:面议
  • 产品规格:不限
  • 产品数量:不限
  • 包装说明:按订单
  • 发货地址:辽宁沈阳和平区  
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    磁控溅射设备厂家-沈阳鹏程真空技术-磁控溅射设备详细内容






    什么是磁控溅射法?

    磁控溅射法是指电子在电场的作用下加速飞向基片的过程中与原子发生碰撞,电离出大量的离子和电子,电子飞向基片。离子在电场的作用下加速轰击靶材,磁控溅射设备多少钱,溅射出大量的靶材原子,呈中性的靶原子(或分子)沉积在基片上成膜。二次电子在加速飞向基片的过程中受到磁场洛仑磁力的影响,被束缚在靠近靶面的等离子体区域内,该区域内等离子体密度很高,二次电子在磁场的作用下围绕靶面作圆周运动,该电子的运动路径很长,在运动过程中不断的与原子发生碰撞电离出大量的离子轰击靶材,经过多次碰撞后电子的能量逐渐降低,摆脱磁力线的束缚,远离靶材,沉积在基片上。

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    磁控溅射的工作原理

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    磁控溅射的工作原理是指电子在电场E的作用下,在飞向基片过程中与原子发生碰撞,使其电离产生出Ar正离子和新的电子;新电子飞向基片,Ar离子在电场作用下加速飞向阴极靶,并以高能量轰击靶表面,使靶材发生溅射。在溅射粒子中,中性的靶原子或分子沉积在基片上形成薄膜,而产生的二次电子会受到电场和磁场作用,产生E(电场)×B(磁场)所指的方向漂移,简称E×B漂移,其运动轨迹近似于磁控溅射一条摆线。若为环形磁场,则电子就以近似摆线形式在靶表面做圆周运动,它们的运动路径不仅很长,而且被束缚在靠近靶表面的等离子体区域内,并且在该区域中电离出大量的Ar 来轰击靶材,从而实现了高的沉积速率。随着碰撞次数的增加,二次电子的能量消耗殆尽,磁控溅射设备供应,逐渐远离靶表面,磁控溅射设备厂家,并在电场E的作用下沉积在基片上。由于该电子的能量很低,传递给基片的能量很小,致使基片温升较低。

    磁控溅射是入射粒子和靶的碰撞过程。入射粒子在靶中经历复杂的散射过程,和靶原子碰撞,把部分动量传给靶原子,此靶原子又和其他靶原子碰撞,形成级联过程。在这种级联过程中某些表面附近的靶原子获得向外运动的足够动量,离开靶被溅射出来。



    自动磁控溅射系统概述

    带有水冷或者加热(可加热到700度)功能,大到6'旋转平台,可支持到4个偏轴平面磁控管。系统配套涡轮分子泵,极限真空可达10-7 Torr,磁控溅射设备,15分钟内可以达到10-6 Torr的真空。通过调整磁控管与基片之间的距离,可以获得想要的均匀度和沉积速度。

    带有14”立方形不锈钢腔体,4个2”的磁控管,DC直流和RF射频电源。 在选配方面,350 l/s涡轮分子泵,额外的磁控管和衬底加热功能。

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    欢迎来到沈阳鹏程真空技术有限责任公司网站, 具体地址是辽宁省沈阳和平区沈阳市沈河区凌云街35号,联系人是董顺。 主要经营电阻热蒸发镀膜,磁控溅射,激光脉冲沉积,电子束。 单位注册资金未知。 我公司在机械产品领域倾注了无限的热忱和激情,公司一直以客户为中心、以客户价值为目标的理念、以品质、服务来赢得市场,衷心希望能与社会各界合作,共创成功,共创辉煌,携手共创美好明天!