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钙钛矿镀膜机介绍

主要由**/金属源蒸发沉积室、真空排气系统、真空测量系统、蒸发源、样品加热控温、电控系统、配气系统等部分组成。适用于制备金属单质薄膜、半导体薄膜、氧化物薄膜、**薄膜等，可用于科研单位进行新材料、新工艺薄膜研究工作，也可用于大批量生产前的试验工作，广泛应用于**、无机、钙钛矿薄膜太阳能电池、OLED等研究领域。钙钛矿镀膜机工作过程中样品位于真空室上方，蒸发源位于真空室下方，向上蒸发镀膜，且蒸发源带有挡板装置，防止蒸发源被污染。

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派瑞林镀膜工艺介绍

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派瑞林镀膜工艺，是一种气相沉积CVD的镀膜方式。其工艺过程如下：首先固态的派瑞林原料在蒸发腔内随着温度的升高逐渐吸热升华；升华后的二聚体气体进入裂解腔，Parylene批发，在680℃左右的温度下，二聚体的分子键被断开，形成具有两个悬空键的活性Parylene单体；Parylene单体被送到室温的真空沉积室里，Parylene，在工件表面进行聚合沉积，形成一层致密的保护膜层。

电阻蒸发镀膜机的结构以及特点

结构和特点：结构可为立卧式双开门结构，成膜速率快，色泽鲜亮，膜层不易受污染，可获得致密性好、纯度高、膜厚均匀的膜层，Parylene公司，不产生废液、废水，可避免对环境污染，属环保设备。

沈阳鹏程真空技术有限责任公司本着多年电阻热蒸发镀膜产品行业经验，专注电阻热蒸发镀膜产品研发定制与生产，先进的电阻热蒸发镀膜产品生产设备和技术，建立了严格的产品生产体系，想要更多的了解，欢迎咨询图片上的热线电话！！！