PLD脉冲激光沉积系统介绍
PLD是将脉冲激光透过合成石英窗导入真空腔内照射到成膜靶上,激光镀膜设备厂,靶被照射后吸收高密度能量而形成的plume状等离子体状态,然后被堆积到设在对面的基板上而成膜。PLD方法可以获得拥有热力学理论上准稳定状态的组成和构造的人工合成新材料。
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PLD系统的适用范围
以下内容由沈阳鹏程真空技术有限责任公司为您提供,今天我们来分享脉冲激光沉积系统的相关内容,希望对**业的朋友有所帮助!
1) 高温**导研发-----合成新的高温**导材料或者微调高温**导材料
2) 高温**导工业研发-----高温**导线缆和带沉积,移动通信的微波过滤器,电力分配网的错误电流限制器,**导磁能存储器(SMES),**导**干涉磁量仪元素制作,**导电子配件,磁共振成像应用,PLD450型激光镀膜设备厂,磁悬浮如火车
3) 铁电材料和设备-----使用大面积的PLD 研发
4) 电-光和光学材料-----电镀铬材料,PLD450型激光镀膜设备厂,电-光材料如PLZT, BST 等
5) 电介材料---如AlN 薄膜
6) 硬质薄膜----如TiCxN(1-x) 薄膜
7) 透明导电氧化物 (TCO) 沉积
8) 测辐射热敏元素生产商----用于热跟踪的热探测,热成像,热度量衡等
9) 制备新材料特别是功能陶瓷
10) 制备纳米粒子
11) 基质辅助脉冲激光蒸发(MAPLE)聚合物薄膜
12) 制备用于MRAMs 和录音磁头上GMR 的铁磁材料等
脉冲激光沉积的自动化
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自动化装置:
控制样品温度和旋转
靶台的位置控制
靶台旋转
气体控制
速率及厚度计算(利用QCM输出)
激光束扫描(可选)
激光束屏蔽控制
自动泵抽和充气
差分泵抽结构
RHEED分析(可选)
装载室压强监控(可选)