300D三源**蒸发镀膜机
主要用途:
特别适合OPV/钙钛矿/无机薄膜太阳能电池、半导体、**EL、OLED显示研究与开发领域。
系统组成:
主要由真空室系统蒸发室、蒸发源系统、样品台系统、 真空抽气及测量系统、气路系统、控制系统、膜厚测试 系统、电控系统组成。
技术指标:
极限真空度6.7×10-5Pa,系统漏率:1×10-7PaL/S; 恢复真空时间:40分钟可达6.6×10 Pa(短时间暴露 大气并充干燥氮气后开始抽气)
样品台:尺寸为4英寸平面样品;
蒸发源:3套
4套挡板系统:挡板共有3套,动密封手动控制;
气路系统:质量流量控制器1路
石英晶振膜厚控制仪:膜厚测量范围0-999999?
可选分子泵组或者低温泵组合涡旋干泵抽气系统
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钙钛矿镀膜机的特点有哪些?
1、样品位于真空室上方,**无机热蒸发镀膜机报价,蒸发源位于真空室下方,向上蒸发镀膜,且蒸发源带有挡板装置。
2、设有烘烤加热功能,可在镀膜过程中加热样品,烘烤加热温度为≤180℃。
3、设有断水、断电连锁保护报警装置及防误操作保护报警装置。
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派瑞林简介
派瑞林是一种新型敷形涂层材料,它是一种聚合物,根据分子结构的不同,Parylene可分为N型、C型、D型、HT型等多种类型。
派瑞林涂层材料优势:派瑞林用*特的真空气相沉积工艺制备,多源**无机热蒸发镀膜机报价,由活性小分子在基材表面“生长”出完全敷形的聚合物薄膜涂层,具有其他涂层难以比拟的性能优势。它能涂敷到各种形状的表面,包括尖锐的棱边,裂缝里和内表面。派瑞林镀膜加工的优势:可以抗酸碱腐蚀,可以抗溶解(在普通的溶剂中不会被溶解);抗冻性能强(低至200℃);具有无法比拟的屏障效果(低气体渗透性);可靠性强,350型四源**无机热蒸发镀膜机报价,具有较高的绝缘强度;采用Parylene进行涂层,可得到均匀一致,透明且较薄的膜层;能涂敷到各种形状的表面,包括尖锐的棱边、裂缝;经济清洁、工序简单、速度快、批量处理能力强。
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